【摘 要】
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压电传感器由于高灵敏度、简单结构、易于集成等特点而被广泛应用.然而,随着电子器件向小型化和集成化方向发展的趋势,对于压电传感器中压电元件的要求越来越高[1].基于
【机 构】
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武汉大学物理科学与技术学院 430072
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压电传感器由于高灵敏度、简单结构、易于集成等特点而被广泛应用.然而,随着电子器件向小型化和集成化方向发展的趋势,对于压电传感器中压电元件的要求越来越高[1].基于铁电薄膜制备的电子器件不仅超薄轻便、有较高的灵敏度,而且能大面积生产,符合商业化发展要求[2].本研究巧妙地将自极化的柔性P(VDF-TrFE)电纺丝薄膜[3]集成在微流控芯片上,制备出了流体驱动式压电传感器,其中测试点处铁电膜与流体的接触面积仅有0.8mm2.其工作原理是利用沟道内近入口端和近出口端的流体压强不同,计算两处的压电信号之差,并对应驱动流体的流速,从而得到压电传感器的工作参数.该压电传感器能在超低流速的流体驱动下工作,在流速为13μl/h-450μl/h的流体驱动下,其输出电压差能达到5.1mV-120mV,在以一定流速下用不同粘度的液体驱动时,其输出电压差亦不同.故根据输出的电信号,该压电传感器不仅能测试流体的流速大小,而且能测试流体的粘度大小.因此,相比于昂贵的生物医学检测器材,该压电传感器更廉价,有望成为医学检测元件更理想的一种选择.
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