基于激光技术的微压痕应变测试技术

来源 :第十三届全国实验力学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:quangang770
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  随着激光技术的发展,利用激光照射待测物产生的干涉图进行应变测量不断涌现,目前能够测试应变的光力学测试方法主要有:反射式云纹法,散斑法、错位电子散斑法、云纹干涉法、数字散斑相关法、光栅应变花法和压痕应变花法。各种方法都有其优点,而利用预先压制于试件表面的三个微压痕的技术,经激光照射微压痕而产生干涉斑点,利用变形前后斑点的最小灰度值位置变化来对被测点进行应变测量。该方法称为压痕应变花技术,不仅能用于测量应变而且也成功用于了残余应力测量,显示出了不同于目前的光学测量应变的光力学技术。因此,详细介绍其原理并对预先压制的三个六面形压痕的试件进行了实验。表明该方法实施简单,干涉条纹清晰,经过深入研究开发能够广泛应用于实际测试中,有效解决微电子封装等小区域器件应变测试以及残余应力的测试,因此该方法可以作为一种新的光力学应变测试技术在学术界和工业界进行应用。
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