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采用水热法在室温条件下，通过控制前驱溶液的pH值和生长温度，在预先镀有ZnO籽晶层的Si基上制备出了ZnO透明导电薄膜，并对其表面形态、生长取向、透过率以及电阻率进行研究。本文还对采用水热法制备掺镓的氧化锌透明导电薄膜的工艺进行了初步探索。结果显示，ZnO纳米棒沿c轴择优生长并具有六角柱结构，在pH值为10.5、温度90℃时，能得到取向性好，直径均匀的ZnO纳米棒阵列。而掺杂氧化锌纳米棒的制备则需要更进一步的研究。