微波管电子枪真空除气系统设计

来源 :第十二届国际真空冶金与表面工程学术会议(ICVMSE2015) | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiujunzhang
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
  在微波管研制过程中,电子枪真空除气的主要作用是对阴极进行预加热,获得灯丝伏安特性与温度的关系,模拟电子枪正常工作时的电流、电压及所需真空度,同时使阴极被加热充分预蒸散,减小电子枪工作时的放气速率.根据微波管电子枪结构特点和性能要求,设计和开发了具有温度测量功能的双工位电子枪预除气系统,极限真空度可达2×10-7Pa.预除气台由直联泵作为前级泵、分子泵和离子泵为主泵构成超高真空系统,采用真空计和阀门的切换可实现每个工位系统独立或同时工作且获得超高真空,有效节省了小批量电子枪的除气时间.
其他文献
  针对分子流态下的气体分子通过一段矩形截面管道的问题,将气体分子划分为两部分,一部分从入口直通达到出口,另一部分经管壁反射后达到出口或入口;基于余弦发射和射线飞行的经
  VIDP 炉浇铸过程是由流钢槽传送钢水到铸模室,较长的流钢槽是VIDP 炉的重要特点,其目的是提高精炼效果。通过对流钢槽精炼除气的原理分析,改变浇铸方案,控制钢水通过流钢槽时
  本文以新研制DN63 复合分子泵为对象,通过复合分子泵功能结构分析,建立可靠性模型,开展故障分析,按照整机可靠性指标要求,通过可靠性预计,合理分配各部件可靠性指标。根据故障
  为了提高真空领域中有关温度测量的准确度,解决在实际应用中遇到的问题,简述在特定真空度下温度测量专用热电偶的特点、选择与应用。详细论述新型带校准孔的真空炉专用热电
  介绍了工程型高温度梯度单晶炉控制系统,其采用了先进器件和完善的软件开发为单晶炉功能的实现提供了坚强的保障。
  随意弃置的金属离子和有机物污染物而造成的水资源污染已经日益成为了一个严重的全球性环境问题。例如像冶金和化学制造、采矿、电池等许多行业所排放的废水都含有一种或
  对分段线性滞回模型和双曲函数滞回模型进行了研究,揭示了这两种滞回模型在分析振动压实-土系统动力学特性时存在的局限性,并提出了一种新的适合振动压实-土系统的非线性滞
  泄漏故障严重威胁航天器安全运行,因此航天器研制过程中要进行严格的密封性能测试,真空质谱检漏技术以其优越的灵敏度成为航天器检漏中最重要的检漏技术之一。航天器总装过
  微雾化是通过一定的方式将连续流动的微尺度液流破碎、分裂,最终形成具有一定空间分布的不连续雾状微液滴,在微尺度给药和单分子低温显微镜技术中具有广泛的应用前景。利用
  基于电推进系统航天器的推进剂燃料主要是高纯氙气(Xe),而目前航天器泄漏检测主要是以氦气作为示漏气体,无法满足航天器加注氙气后电推进系统的泄漏检测。因此本文针对电推