论文部分内容阅读
在微波管研制过程中,电子枪真空除气的主要作用是对阴极进行预加热,获得灯丝伏安特性与温度的关系,模拟电子枪正常工作时的电流、电压及所需真空度,同时使阴极被加热充分预蒸散,减小电子枪工作时的放气速率.根据微波管电子枪结构特点和性能要求,设计和开发了具有温度测量功能的双工位电子枪预除气系统,极限真空度可达2×10-7Pa.预除气台由直联泵作为前级泵、分子泵和离子泵为主泵构成超高真空系统,采用真空计和阀门的切换可实现每个工位系统独立或同时工作且获得超高真空,有效节省了小批量电子枪的除气时间.