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近年来,晶体硅太阳电池,尤其是多晶硅太阳电池,始终占据着光伏市场的主流地位.在太阳电池向高效化和薄片化发展的趋势下,钝化发射极和背表面电池(PERC)技术受到越来越多的关注,并且已在高效单晶硅电池的研发中获得了广泛应用.本文采用常规156×156mm2 P型多晶硅片,在产业化的多晶硅“冥王星”(Pluto)电池背表面引入量产的PECVD技术制备的氧化铝/氮化硅(AlOx/SiNx)叠层薄膜和背面开窗工艺,制备得到的Pluto-PERC电池表现出良好的背钝化和背反射效果,经第三方测试的电池转换效率达到18.52%.