等离子体增强化学气相沉积工艺相关论文
采用卷对卷PECVD设备在聚酰亚胺衬底上连续生长制作柔性硅基薄膜太阳电池,大面积(8cm×8cm)单结电池单片效率目前达到6％(AMO).采用......
近年来,晶体硅太阳电池,尤其是多晶硅太阳电池,始终占据着光伏市场的主流地位.在太阳电池向高效化和薄片化发展的趋势下,钝化发射......
报道了柔性聚酰亚胺衬底上的非晶硅/非晶硅锗叠层太阳电池的研究结果.首先研究了非晶硅锗单结太阳电池的p层,发现在140℃下沉积的p......
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备高速率微晶硅太阳电池,分别采用MOCVD ZnO:B以及溅射后腐蚀Zn0:Al作为衬......
本文采用理论模拟和实验相结合的方法,研究了不同气压下放电功率对VHF-PECVD沉积的微晶硅薄膜的生长特性的影响.低压时,SiH3为主要......
薄膜制备技术在MEMS工艺设计中占有非常重要的位置。由于等离子体增强化学气相沉积(PECVD)沉积速度快，能对非平面形貌产生良好的覆......
