【摘 要】
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行波管(TWT)是一类重要的真空电子器件，正在向毫米波及太赫兹频段发展。随着频段的提高，高频慢波结构的尺寸越来越小，关键尺寸将从毫米量级减小到微米量级，其加工制备成为研
【机 构】
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中国科学院电子所,北京100190
【出 处】
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第十届全国激光技术与光电子学学术会议
论文部分内容阅读
行波管(TWT)是一类重要的真空电子器件，正在向毫米波及太赫兹频段发展。随着频段的提高，高频慢波结构的尺寸越来越小，关键尺寸将从毫米量级减小到微米量级，其加工制备成为研制高频段行波管的关键问题。本文采用MEMS 技术中常用的紫外激光微细加工方法，在玻璃上加工微型折叠波导慢波结构，而后进行溅射和键合，以形成微结构及空腔，初步尝试了在Pyrex 7740 硼硅玻璃基体上加工慢波结构的可行性，分析了不同频率下的激光光束对玻璃表面、盲槽底部、振镜接纹处和槽深宽的影响，优化的加工参数有待进一步的深入开展。
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