Development of a broadband Mueller matrix ellipsometer as a powerful tool for nanostructure metrolog

来源 :第十七届全国凝聚态光学性质会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangyuan1984
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Ellipsometry is an optical technique that uses polarized light to characterize the thickness and optical constants of both layered and bulk materials.Among the various types of ellipsometry, Mueller matrix ellipsometry (MME), also known as Mueller matrix polarimetry (MMP) or generalized ellipsometry (GE), can obtain up to 16 quantities of a 4×4 Mueller matrix in each measurement.Consequently, MME can acquire much more useful information about the sample, and thereby can achieve better measurement sensitivity and accuracy than the conventional ellipsometry.
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