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该文主要介绍一种新的喷雾热分解制备薄膜装置，并介绍该装置的特点。利用该装置已成功的制备出ＳｎＯ多晶膜，ＺｎＯ系压敏薄膜，ＭｇＯ薄膜，ＰＺＴ铁电薄膜等。
新的喷雾热分解制备薄膜装置
【摘 要】
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该文主要介绍一种新的喷雾热分解制备薄膜装置，并介绍该装置的特点。利用该装置已成功的制备出ＳｎＯ多晶膜，ＺｎＯ系压敏薄膜，ＭｇＯ薄膜，ＰＺＴ铁电薄膜等。
【机 构】
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石油化工学院
【出 处】
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1998年中国材料研讨会
【发表日期】
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1998年期
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