制备薄膜装置相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

制备薄膜装置相关论文

甩胶喷雾热分解方法制备BaTiO薄膜及其介电性能研究

随着科学技术的发展，钛酸钡薄膜作为特殊形态的材料，已成为微电子、信息、传感器、光学等技术的基础，并广泛渗透到当前科技的各个领域......

学位

甩胶喷雾热分解法制钛酸钡薄膜相对介电常数退火温度有机金属化学气相沉积物理方法退火时间升温速度自行设计膜的制备化学方法射频磁控溅射表面

新的喷雾热分解制备薄膜装置

该文主要介绍一种新的喷雾热分解制备薄膜装置，并介绍该装置的特点。利用该装置已成功的制备出ＳｎＯ多晶膜，ＺｎＯ系压敏薄膜，ＭｇＯ薄膜，ＰＺＴ铁电薄膜等。......

会议

喷雾热分解制备薄膜装置铁电薄膜多晶膜ＳｎＯ压敏

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