【摘 要】
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USHIO is introducing the mass production system with large area projection elposure (8 inch one shot)and the high precision technology.As everybody knows, M
【机 构】
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Technology&engineeringGeneralManagerUshioInc.ExposureBusinessunit
【出 处】
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2011传感器与MEMS技术产业化国际研讨会
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USHIO is introducing the mass production system with large area projection elposure (8 inch one shot)and the high precision technology.As everybody knows, MEMS devices requires high alignment accuracy as well as the high precision patterning on high scallop area at photo lithography process. Especially, for the warped wafer, which canbe seen in the actuator mass production of various sensor devices, it is difficult to keep high alignment accuracy. Also, the market is still looking for a tool which achieves both high throughput of conventional contact elposure tool and high yield of reduction projection stepper.
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