【摘 要】
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本文提出了SOI多区双RESURF LDMOS,在单RESURF LDMOS结构的n漂移区引入多个p掺杂区,以改善其场分布,提高击穿电压.借助二维器件仿真软件对器件进行仿真和优化设计,使其耐压达
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054
【出 处】
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四川省电子学会半导体与集成技术专委会2006年度学术年会
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本文提出了SOI多区双RESURF LDMOS,在单RESURF LDMOS结构的n漂移区引入多个p掺杂区,以改善其场分布,提高击穿电压.借助二维器件仿真软件对器件进行仿真和优化设计,使其耐压达650V以上.开发高压SOI(Silicon-on-Insulator)BCD工艺,在此基础上研制出的LDMOS耐压达到640v.应用在高压功率集成电路中,与普通硅基PN结隔离LDMOS比较,电流驱动能力提高约23％。
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