论文部分内容阅读
φ4″〈100〉区熔硅单晶的研制
【机 构】
:
有色金属研究总院半导体材料工程研究中心
【出 处】
:
第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
:
1995年期
其他文献
目前全球CRT监视器需求约五亿台,笔记本型电脑的全球需求则约1600余万台,对于TFT-LCD电视迄今尚无市场调查机构预估,不过韩国厂商表示,如果价格下降,走向合理,那TFT-LCD电视的需求有可能超过液晶监视器、
以Si为衬底利用射频溅射和平面工艺技术制作Pt膜电极(加热器),再涂以SnO敏感层,制成平面热线式气敏元件。对制作工艺条件及元件的气敏特性进行研究。利用表面修饰技术可以得到选