随着光通信技术和微波光子技术的发展，电光调制器作为光通信网络以及微波光子链路中的关键器件，高性能的电光调制器对系统整体性能的提高起着至关重要的作用。目前，实现电光调制器的材料主要有无机晶体材料如妮酸铿、半导体材料以及有机聚合物材料三类。其中，有机聚合物材料与其他两类材料相比，具有介电常数低、易于实现微波与光波的相速匹配进而实现宽带调制，电光系数高、降低调制器半波电压，加工工艺简单、成本低，易于与其他光电子器件集成等优点，因此，对基于聚合物电光材料的电光调制器的研究成为近些年来的研究热点，国内外对聚合物电光调制器的研究也取得了很大的进步。2007年，美国南加州大学Song团队采用有机聚合物材料设计了谐振腔结构的电光调制器，该调制器采用环形波导和行波电极，利用多光束干涉效应大幅的提高了调制性能，调制带宽可达到165GHZ.2008年，德国卡尔斯鲁尔大学Brosi提出一种结合光子晶体结构的新型电光调制器，这种电光调制器结合了高性能的聚合物电光材料以及光子晶体的慢光特性，其性能较传统电光调制器有显著提高，响应带宽达到78GHZ,驱动电压小于1V. 聚氨醋酞亚胺(PUI)电光材料具有良好的成膜性和热稳定性，玻璃化温度为196~208℃之间，其折射率在1.597~1.651之间可调，在波长1550nm处传输损耗在0.7~0.9dB/cm之间，电光系数在30~70pm/N之间，是一种优良的聚合物光波导电光材料。因此本文采用聚氨酷酸亚胺(PUI)电光材料作为芯层材料，采用SU8作为波导下包层材料，聚酞亚胺材料作为波导的上包层材料，优化设计了倒脊型聚合物光波导，以此为基础设计制备了MZI型电光调制器以及Y分支电光相位调制器，并对其进行了电光响应特性的测试，验证了这两种电光调制器的调制特性，如图1所示。不仅证明了聚氨酷酸亚胺电光波导材料优良的性能，同时也为今后更高性能电光调制器的设计提供了参考。