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微机电系统(MEMS)技术日益向微波应用方面发展,MEMS在实现小尺寸、低成本和低功耗的射频、微波电路(系统)具有优势.本文综述了微机电射频(RF MEMS)技术在微波集成电路和相控阵系统中的工程应用.
MEMS技术在微波集成电路和相控阵系统中的应用
【摘 要】
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微机电系统(MEMS)技术日益向微波应用方面发展,MEMS在实现小尺寸、低成本和低功耗的射频、微波电路(系统)具有优势.本文综述了微机电射频(RF MEMS)技术在微波集成电路和相控
【机 构】
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南京电子技术研究所,南京,210013
【出 处】
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2006年电子机械和微波结构工艺学术会议
【发表日期】
：
2006年期
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