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本文分析了尺寸的Nichrome(Ni20∶Cr80)金属薄膜电极用于热光调制器热源时的热力学性能,并研究了其工作可靠性.计算模型中使用Nichrome(Ni20∶Cr80)金属薄膜电极对石英玻璃基片中由飞秒激光脉冲直接写入的二氧化硅波导(尺寸为4 μm×6μm)进行热光调制.通过COMSOL软件对上述模型进行了仿真计算.计算结果表明,Nichrome(Ni20∶Cr80)金属薄膜电极的优化尺寸为600 μm× 10μm× 1.94 μm.在上述薄膜电极作为热光调制器对二氧化硅光波导取得π相位调制时,微加热电极的功耗Px=9.3 mW,工作电压为0.5 V.加热电极工作时所引起的基片总形变为0.52 μm,金属电极之间和基片之间的热应力为3.5×104 Pa都在电极和基片材料的力学强度允许范围之内.电极在基片内部的温场分布的均匀性完全可以满足热光相位调制的要求.