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本文介绍了微机械开关的形式、物理特性,分析了其工作原理。文中采用一端固定、一端自由运动的悬臂梁的力学模型,给出了MEMS开关设计的经验公式，最后,对微机械开关在MMIC中的发展前景作出了预测。
微机械开关在MMIC中的应用
【摘 要】
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本文介绍了微机械开关的形式、物理特性,分析了其工作原理。文中采用一端固定、一端自由运动的悬臂梁的力学模型,给出了MEMS开关设计的经验公式，最后,对微机械开关在MMIC
【机 构】
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清华大学电子工程系,北京,100084
【出 处】
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2000全国第八届微波集成电路与移动通信学术年会
【发表日期】
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2000年期
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