【摘 要】
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针对水解溶胶-凝胶还原氮化法制备TiN薄膜时,所需原料金属钛醇盐价格相对较高,且其水解过程不易控制等问题。本文以四氯化钛和无水乙醇为前驱体原料,按C/Ti摩尔比为12∶1
【机 构】
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河北联合大学材料科学与工程学院 河北唐山 063009
【出 处】
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第十四届全国青年材料科学技术研讨会
论文部分内容阅读
针对水解溶胶-凝胶还原氮化法制备TiN薄膜时,所需原料金属钛醇盐价格相对较高,且其水解过程不易控制等问题。本文以四氯化钛和无水乙醇为前驱体原料,按C/Ti摩尔比为12∶1引入碳源聚乙烯吡咯烷酮(PVP,分子量为1300000),采用工艺简单的非水解溶胶-凝胶碳热还原氮化技术,在流量为32ml/min高纯N2中,经1300℃碳热还原氮化5h,在石英玻璃基片上制备出金黄色光泽的TiN薄膜。利用XRD、RAMAN和FE-SEM表征了TiN薄膜的物相组成及显微结构,结果表明：薄膜晶相为具有NaCl型面心立方结构的δ-TiN,薄膜中TiN晶体在其最小应变能晶面(111)上择优取向生长明显,部分晶粒初步呈现三棱椎状,且棱角分明,晶界清晰,薄膜厚度在200nm左右。测定TiN薄膜显微硬度及其在紫外可见区域透过率发现,石英玻璃基片表面存在TiN薄膜后,其显微硬度由745Kg/mm2增大到1275Kg/mm2,而在可见光范围内透过率峰值则接近9％。
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