氩气气氛中烧结温度对碳化硅复合膜的性能影响

来源 :第九届全国膜与膜过程学术报告会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ffg
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  采用喷涂法在多孔碳化硅(SiC)支撑体上覆膜,通过热重分析,设计了有氧烧结和气氛烧结相结合的烧结制度,考察了氩气气氛中烧结温度对SiC复合膜性能的影响.采用SEM、XRD、孔径分析仪等表征了膜的微结构,测试了复合膜的耐酸碱腐蚀性能.结果 表明,设计的烧结制度能有效促进有氧烧结阶段产生的二氧化硅,在氩气气氛烧结阶段与烧结助剂氧化锆发生反应,生成的锆英石相和添加的莫来石相共同作用形成SiC颗粒连接颈部.随着烧结温度从1350℃升高到1500℃,SiO2玻璃相消失,气体渗透通量增大.在1500℃保温4h,制得的SiC复合膜平均孔径为2.3 μm,气体通量为80.2 m3·m-2·h1·KPa-1.在100℃的0.25 mol/L的H25O4溶液和0.25 mol/L的NaOH溶液中腐蚀6h,膜表面结构无明显变化,表明制备的碳化硅复合膜具有较强抗腐蚀性能,化学稳定性好.
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