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电火花抛光金刚石膜的工艺是:预先在金刚石膜表面镀覆一层导电层,然后采用电火花进行加工,使金刚石膜表面突起的尖峰被迅速去除.单脉冲放电抛光实验中深入的研究了镀层材料对电火花抛光金刚石膜的影响,并证实了加工中金刚石表面的石墨化是使电火花加工得以不断延续的关键.本文通过旋转电极的抛光实验,验证了旋转电极连续抛光金刚石膜的有效性,提出电火花抛光的机理模型.