论文部分内容阅读
本文采用三层光刻工艺制作了基于PDMS的微型分流器.引入牺牲层技术,解决了不同胶层间的界面互融问题,讨论了不同胶层间显影液对图形质量的影响.所制得的分流器工艺简单,结构形貌良好,具有良好的微流控制作用,满足器件使用要求.
一种PDMS微型分流器的研制
【摘 要】
：
本文采用三层光刻工艺制作了基于PDMS的微型分流器.引入牺牲层技术,解决了不同胶层间的界面互融问题,讨论了不同胶层间显影液对图形质量的影响.所制得的分流器工艺简单,结构
【机 构】
：
华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074
【出 处】
：
第三届全国微全分析系统学术会议
【发表日期】
：
2005年10期
其他文献
从《国家风险分析报告》中的国家／地区信用风险图中,我们可以看到,代表风险水平较高的深颜色集中于非洲地区,在《国家风险分析报告》选取的14个非洲国家中,除南非被评为5级风
期刊
本文选用了聚甲基丙烯酸甲脂(Polymethyl methacrylate} PMMA)作为基底材料,应用激光刻蚀技术加工了一种可以适用于芯片质谱联用PMMA喷头,喷头的口径为60微米.在仅对喷头的稳
会议
大规模利用生物质制氢作为未来社会的能源载体,有可能彻底解决人类可持续发展中面临的两大问题--能源和环境[1].但传统的生物质制氢技术,如生物质快速高温热解制氢技术、高温
聚二甲基硅氧烷(PDMS),是目前微流控芯片制备中使用较多的高分子聚合物材料.固化后的PDMS表面由于表面能低,化学惰性等原因,使表面亲水性和黏结性都很差,液体在PDMS微通道中
微流控芯片是μ-TAS的一个重要分支和研究热点之一,具有样品需求量少、驱动手段灵活、分析效率高、检测手段多样和分析平台微型化的特点.采用无电镀的方法对聚碳酸酯滤膜纳米