【摘 要】
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本文利用脉冲宽度为15ps的532nm波长激光脉冲单粒子效应测试系统,在0.18μm PDSOI工艺制造的不同器件上测试了激光脉冲单粒子效应.通过实验结果的比对分析,明确了各工艺层、
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,北京市,100029
【出 处】
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第一届全国辐射物理学术交流会(CRPS`2014)
论文部分内容阅读
本文利用脉冲宽度为15ps的532nm波长激光脉冲单粒子效应测试系统,在0.18μm PDSOI工艺制造的不同器件上测试了激光脉冲单粒子效应.通过实验结果的比对分析,明确了各工艺层、透光缝隙宽度、示波器带宽等对激光脉冲单粒子效应测试技术的影响,为532nm波长激光脉冲单粒子效应测试技术适用范围提供了良好的指导.
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