【摘 要】
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微/纳米技术的兴起,提出了一系列有待解决的热科学问题,而建立有效的理论分析方法是其中重要的目标之一.在现今几类有限的措施中,Boltzmann方程方法是一种相当有效的处理微/
【机 构】
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中国科学院理化技术研究所低温中心(北京)
【出 处】
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中国工程热物理学会传热传质学学术会议
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微/纳米技术的兴起,提出了一系列有待解决的热科学问题,而建立有效的理论分析方法是其中重要的目标之一.在现今几类有限的措施中,Boltzmann方程方法是一种相当有效的处理微/纳尺度输运问题的有效宽适用性的方法,但该理论目前主要用于微/纳尺度方面的传热问题分析,在传质问题的研究上鲜有尝试.本文基于Boltzmann方程理论,建立了多组份物质中的质扩散方程及包括热质耦合效应在内的统一方程,特别讨论了非Fick扩散效应的内在物理机制,并提出了质扩散系数的尺度效应问题,给出了一个具体的分析例子,讨论了该问题在半导体薄膜粒子注入改性方面的应用.
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