RF MEMS器件的发展现状

来源 :第五届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qqanjun
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RF MEMS器件是MEMS技术的重要发展方向之一,本文介绍了RF MEMS器件的发展动态及其关键技术和市场发展趋势,并提出了发展RF MEMS器件的几点考虑.
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