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大气压等离子体沉积纳米颗粒薄膜的研究
大气压等离子体沉积纳米颗粒薄膜的研究
来源 :第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:suibiannicheng
【摘 要】
:
本报告综述介绍了微纳米结构薄膜的制备与应用背景,常压等离子体及对沉积薄膜结构的调控,以及常压等离子体化学气相沉积钛基薄膜、常压等离子体化学气相沉积硅基薄膜及其应
【作 者】
:
丁可
郭颖
杜诚然
黄晓江
王超梁
石建军
张菁
【机 构】
:
东华大学理学院
【出 处】
:
第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛
【发表日期】
:
2017年12期
【关键词】
:
常压等离子体
纳米颗粒薄膜
形貌结构
特性
应用
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本报告综述介绍了微纳米结构薄膜的制备与应用背景,常压等离子体及对沉积薄膜结构的调控,以及常压等离子体化学气相沉积钛基薄膜、常压等离子体化学气相沉积硅基薄膜及其应用。
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