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在卤钨灯光照下,GaAs单晶中缺陷的腐蚀与观察
【机 构】
:
北京有色金属研究总院
【出 处】
:
中国有色金属学会1993年砷化镓及有关化合物会议
【发表日期】
:
1993年期
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