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VGF炉中GaAs结晶表面平衡温度的计算
VGF炉中GaAs结晶表面平衡温度的计算
来源 :中国工程热物理学会传热传质学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qqqq406340142
【摘 要】
:
该文建立了VGF结晶炉的辐射换热模型,利用有限差分法对变温条件下砷化镓晶体表面的辐射换热进行了数值求解,得出晶体表面的平衡温度的变化曲线。
【作 者】
:
魏东
马一太
李贵全
王占龙
【机 构】
:
天津大学热能研究所
【出 处】
:
中国工程热物理学会传热传质学学术会议
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
结晶
晶体表面
平衡温度
辐射换热
有限差分法
数值求解
换热模型
变化曲线
砷化镓
变温
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该文建立了VGF结晶炉的辐射换热模型,利用有限差分法对变温条件下砷化镓晶体表面的辐射换热进行了数值求解,得出晶体表面的平衡温度的变化曲线。
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