【摘 要】
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<正>为抑制两次透射存在的二次衍射,提出了一种基于棱镜反射的单次透射方法。在斐索型干涉仪中,一般采用自准直法测量元件的透射波前,测试光会两次透过被测元件,导致二次衍射
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院;
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<正>为抑制两次透射存在的二次衍射,提出了一种基于棱镜反射的单次透射方法。在斐索型干涉仪中,一般采用自准直法测量元件的透射波前,测试光会两次透过被测元件,导致二次衍射,影响测量精度,在小口径元件的测试中尤为明显。针对这一问题,使用直角棱镜代替平面反射镜,测试光单次透过被测元件,消除二次衍射引入的误差。在该方法中,直角棱镜的两直角面均会反射测试光,形成两组干涉条纹,因此可以同时获得分别从被测元件前、后透射时的波前信息。用Zygo GPI型干涉仪测量一口径为Φ6mm,长度为60mm的激光棒,分别使用平面反射镜和直角棱镜两种方案,测量结果如下。使用平面镜反射的自准直法时,激光棒透射波前的PV值为0.1 37λ,RMS值为0.0 18λ;使用基于直角棱镜的单次透射法测量时,PV值为0.149λ,RMS值为0.021λ。结果表明,该方案能实现元件透射波前的高精度检测。
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