【摘 要】
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谐振式传感器在闭环系统下处于谐振状态才能够正常工作,谐振式传感器的信号由两部分组成,激励源信号以及传感器的输出信号,当二者满足相位和幅值条件时即可构成闭环系统,传感
【机 构】
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测控系,北京航空航天大学(中国北京)
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谐振式传感器在闭环系统下处于谐振状态才能够正常工作,谐振式传感器的信号由两部分组成,激励源信号以及传感器的输出信号,当二者满足相位和幅值条件时即可构成闭环系统,传感器此时工作在谐振状态.传统的闭环系统是由模拟器件来实现的,而硅谐振式压力微传感器输出信号极其微弱而且被电容耦合干扰及噪声所淹没,采用模拟方式实现闭环系统比较困难,本文重点讨论了硅谐振式压力微传感器的测压原理,并在此基础上提出了以Motorola DSP56311为核心的硅谐振式压力微传感器的数字闭环系统.
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