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CVD金刚石膜X-射线衍射分析
CVD金刚石膜X-射线衍射分析
来源 :第八届全国X射线衍射学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hwhxl0
【摘 要】
:
金刚石作为碳(C)的重要同位素之一,具有良好的物化性能而被广泛应用于各领域,我们利用D/max(3C)型X-射线衍射仪对金刚石膜样品分别进行了广角X-射线衍射和掠入射X-射线衍射测
【作 者】
:
刘存业
李建
陈志谦
王跃
【机 构】
:
西南师范大学物理学系(重庆)
【出 处】
:
第八届全国X射线衍射学术会议
【发表日期】
:
2003年10期
【关键词】
:
金刚石膜
化学气相沉积
X射线衍射
测量分析
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金刚石作为碳(C)的重要同位素之一,具有良好的物化性能而被广泛应用于各领域,我们利用D/max(3C)型X-射线衍射仪对金刚石膜样品分别进行了广角X-射线衍射和掠入射X-射线衍射测量分析.
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