【摘 要】
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对纳米尺度材料电学性质的原位测量方法和表征技术是探索低维体系中电子输运特性的重要实验基础,也是设计和构建纳电子器件的关键环节.由于扫描探针显微技术(SPM)具有高的空
【出 处】
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第三届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会
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对纳米尺度材料电学性质的原位测量方法和表征技术是探索低维体系中电子输运特性的重要实验基础,也是设计和构建纳电子器件的关键环节.由于扫描探针显微技术(SPM)具有高的空间分辨能力,而且具有电学特性探测的功能,所以基于SPM的纳米尺度电学特性表征方法受到广泛关注,发展纳米尺度电学特性的定量化测量方法尤为重要.本文以静电力显微技术(EFM)为基础,发展了一系列具有高空间分辨率的探测材料微观电学性质的实验技术方法.利用对动态工作模式下的高灵敏相位检测,精确测量了探针与样品之间微弱的相互作用力,实现了对材料微区电学特性(如介电常数、载流子密度等)的定量化测定.
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