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研究了由薄膜铂电阻构成的双臂电桥热导式湿度传感器的温度测量原理，器件结构和特性，结果表明热导式湿度测量具有较吸附式湿度测量优越的特性。
双桥电阻热导式湿度测量
【摘 要】
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研究了由薄膜铂电阻构成的双臂电桥热导式湿度传感器的温度测量原理，器件结构和特性，结果表明热导式湿度测量具有较吸附式湿度测量优越的特性。
【机 构】
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科学院上海冶金研究所,国家金属薄膜工程中心
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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