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镍酸镧LaNiO3是具有钙钛矿结构的氧化物材料，由于其特定的晶体结构和优良的导电特性，作为压电、铁电陶瓷的电极材料具有良好的应用前景。随着硅基集成铁电学的发展，在硅基板上制备性能优良的镍酸镧薄膜电极对提高铁电陶瓷的性能具有重要的意义。该论文以La(NO3)3·nH2O和Ni(CH3COO)2作为初始原料，丙烯酸为稳定剂，采用溶胶-凝胶法在单晶硅基板上制备了具有晶体取向性的LaNiO3薄膜，并研究了薄膜的微观形貌和电学性能，结果表明，适当控制溶胶组成及热处理工艺，可以获得(001)取向度的LaNiO3导电薄膜，薄膜表面均匀致密、方阻为50Ω／□，可以满足铁电陶瓷薄膜对电极材料导电性的要求。