【摘 要】
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多功能离子镀是物理气相沉积技术中比较理想的工艺方法之一,多功能离子镀膜机具有多弧离子镀膜、偏压自辉清洗和脉冲偏压辅助沉积等功能,可以有效地提高薄膜与基体之间的结合
【机 构】
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贵州红林机械有限公司,贵州贵阳550009
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多功能离子镀是物理气相沉积技术中比较理想的工艺方法之一,多功能离子镀膜机具有多弧离子镀膜、偏压自辉清洗和脉冲偏压辅助沉积等功能,可以有效地提高薄膜与基体之间的结合力和薄膜质量.本文对TiN离子镀膜金相试样的制备进行工艺研究,探索正确制备金相试样及测试膜层的方法.通过对TiN离子镀膜金相试样制备镶嵌方法及磨抛方法的对比，正确制样及TiN测试膜层的最佳方法为:采用热镶嵌+自动磨抛，此方法制备出的试样基体组织与膜层组织分界线清晰，膜层与基体结合良好，不易出现倒角、膜层崩块及膜层不连续现象，能制备出真实性和可靠性较高的试样。
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