【摘 要】
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<正>液相外延制备的石榴石薄膜在磁光和微波器件方面已经应用了很长时间[1-3],如移相器、光隔离器、磁光开关、微波环行器、静磁波滤波器、延迟线等[4]。在液相外延制备过程
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件重点实验室;
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<正>液相外延制备的石榴石薄膜在磁光和微波器件方面已经应用了很长时间[1-3],如移相器、光隔离器、磁光开关、微波环行器、静磁波滤波器、延迟线等[4]。在液相外延制备过程中,薄膜和衬底的晶格匹配和热膨胀系数匹配是获得单晶薄膜的两个重要条件。由于与其他石榴石薄膜的晶格和热膨胀系数匹配度良好,所以钆镓石榴石（GGG）(a=12.383A,热膨胀系数=9.2×10-6/℃)是制备石榴石薄膜最好的衬底选择。本文利用液相外延方法,在GGG衬底上制备了化学配方为(Lu2.1,Bi0.9)Fe5O12（LuBilG）的薄膜,并用高分辨XRD谱分析了薄膜与GGG衬底之间的晶格失配度。如图1所示为GGG上外延LuBilG薄膜的高分辨XRD谱。0mega-2Theta扫描范围从-200 arcsec到200 arcsec,扫描步长为2 arcsec,计数时间为1 second。首先测量了GGG（444）与LuBilG（444）的角度差△θB,即薄膜的角度θepi可以表示为:
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