【摘 要】
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采用直流反应磁控溅射法,在室温条件下通过改变放电气体压强制备出具有不同膜密度的WO3薄膜.结构表征结果表明,由单斜晶WO3纳米颗粒组成的薄膜具有层状结构,随着放电气体压强
【机 构】
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东北大学资源与土木工程学院 沈阳市和平区文化路3号巷11号110819
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
采用直流反应磁控溅射法,在室温条件下通过改变放电气体压强制备出具有不同膜密度的WO3薄膜.结构表征结果表明,由单斜晶WO3纳米颗粒组成的薄膜具有层状结构,随着放电气体压强的增加,膜密度呈下降趋势.气敏特性研究结果表明,由WO3薄膜制备而成的气体传感器在工作温度为200℃时获得对NO2气体最大的灵敏度,并在50~300℃的工作温度范围内对NO2气体均展现出良好的气敏特性.在相同的检测条件下,气体灵敏度随着膜密度的减少而增加。
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