湿法刻蚀技术相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

湿法刻蚀技术相关论文

飞秒激光湿法刻蚀技术制备石英内部真三维微线圈及微传感器的研究

微传感器是一个重要的功能元件,它被广泛的应用于电子电路、制动装置和MEMS系统等.利用飞秒激光微加工技术在透明介质内部制备均匀......

会议

飞秒激光湿法刻蚀技术直接制备石英材料真三维微线圈微传感器件三维螺旋

蓝宝石图形衬底上侧向外延生长GaN的研究

为解决目前侧向外延生长技术存在的弊端，我们发展了新的侧向外延方法以减少GaN中的位错密度，提高晶体质量。本文主要研究了湿法刻蚀......

学位

图形衬底侧向外延生长氮化镓湿法刻蚀技术金属有机物化学气相沉积

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