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反应溅射制备氧化锆薄膜及其光学性质研究
【机 构】
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山东省潍坊医学院医用物理学教研室,山东省潍坊市,261053复旦大学光科学与工程系,上海市邯郸路220号,200433复旦大学光科学与工程系,上海市邯郸路220号,200433;上海超精密光学制造工程
【出 处】
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第16届全国凝聚态光学性质学术会议
【发表日期】
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2012年7期
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