【摘 要】
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在太赫兹频段,表面波振荡器慢波结构的特征尺寸和趋肤深度都很小,对加工精度和表面粗糙度的要求很高.根据色散曲线,分析了慢波结构参数对0.34THz表面波振荡器频率变化的影响,给出了敏感参数,要求各参数的加工误差小于10％.利用等效表面阻抗,分析了表面粗糙度对传输损耗的影响,要求加工的表面粗糙度要小于趋肤深度.为了实现具有封闭结构特征的柱形慢波结构加工,设计了电火花加工工艺,给出了加工结果.
【机 构】
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西北核技术研究所,西安710024
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在太赫兹频段,表面波振荡器慢波结构的特征尺寸和趋肤深度都很小,对加工精度和表面粗糙度的要求很高.根据色散曲线,分析了慢波结构参数对0.34THz表面波振荡器频率变化的影响,给出了敏感参数,要求各参数的加工误差小于10％.利用等效表面阻抗,分析了表面粗糙度对传输损耗的影响,要求加工的表面粗糙度要小于趋肤深度.为了实现具有封闭结构特征的柱形慢波结构加工,设计了电火花加工工艺,给出了加工结果.
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