论文部分内容阅读
纳米梁谐振器是某一维度上的特征尺度小于100nm纳米级谐振器。纳米梁谐振器以其超小的体积与质量,超低的功耗,超高的灵敏度,体现了NEMS器件的优越性。纳米梁谐振器有望广泛应用于单电子电量、单分子质量等物理量的检测。高灵敏度生物、化学传感器等不同领域。本文研究了纳米级固支梁谐振器的制造工艺技术,研究利用电子束光刻和MEMS工艺相结合的纳米制造技术,开发出干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的纳米固支梁结构的制造工艺,形成纳米梁谐振器自上而下的制造工艺技术。