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晶体硅太阳电池目前是最主要的太阳电池类型，占据80％以上的市场份额.但是其进一步的推广应用还需降低成本和提高转换效率.光吸收效率是制约电池效率的重要因素，制备高效晶体硅太阳电池必须降低硅片受光面的反射率，将硅片表面制成绒面.现有绒面制备技术包括碱制绒和酸制绒都难以实现更有效的光吸收.为了进一步降低受光面的反射率，本实验采用碱腐蚀制备的带有金字塔结构的单晶硅片，然后以HF/HNO3/H2O 为基础的酸腐蚀溶液，在硅片表面形成多孔结构.HF/HNO3/H2O 酸腐蚀溶液可以在硅片表面形成均匀的亚微米结构，增加了表面粗糙度，提高了对光的吸收，降低了表面反射率.本论文设计了一系列实验，通过SEM、BET 等表征方法研究了腐蚀液的配比，浓度和腐蚀参数对多孔硅的表面形貌和反射率的影响.系统考察了多孔结构对硅表面光反射率、光电转换效率和量子效率的影响以及后续处理对转换效率的提升作用.研究表明多孔结构的硅片反射率可以降至5％以下.