Nb掺杂锐钛矿相TiO2薄膜光学性质的研究

来源 :第十七届全国半导体物理学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuhuanqw
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2005年,Furubayashi等采用脉冲激光沉积(PLD)法研制了锐钛矿相(Anatase)的Nb掺杂TiO2(Nb:TiO2)薄膜。他们发现,Nb的掺入导致了此种薄膜的电学性质较纯TiO2薄膜有很大的提高,而且其光学性能亦佳。这使得Nb:TiO2薄膜成为制备透明导电氧化物(TCO)材料的重要原料。为了澄清量子受限效应与B-M效应对薄膜带隙所产生的影响,笔者采用PLD法制备了一批不同厚度的、锐钦矿相的纯Ti02薄膜,通过自组装外延技术控制其颗粒尺寸和形状,系统地研究了Ti02纳米薄膜的光学性质与其量子受限尺寸的关系,并由透射谱计算出吸收系数及其能隙Eg。另一方面,亦采用相同的方法研制了一批不同厚度的、不同Nb掺杂浓度的Nb:Ti02薄膜,并研究了其带隙变化。
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