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在扫描电镜非导电或导电性差的样品制备过程中,通常使用等离子溅射镀膜方法对样品表面进行导电处理。本文将主要叙述等离子溅射镀膜的原理与方法,并且简单介绍磁控管溅射仪和锇等离子镀膜仪等。
扫描电镜非导电样品的等离子溅射镀膜方法
【摘 要】
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在扫描电镜非导电或导电性差的样品制备过程中,通常使用等离子溅射镀膜方法对样品表面进行导电处理。本文将主要叙述等离子溅射镀膜的原理与方法,并且简单介绍磁控管溅射仪和
【机 构】
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北京师范大学分析测试中心,北京100875
【出 处】
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北京高教学会实验室工作研究会2007年学术研讨会
【发表日期】
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2007年12期
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