【摘 要】
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随着半导体材料与工艺技术的发展，固体电子器件的运行速度正向亚毫米波和太赫兹频段发展。但是，常规的电子学器件和光子学器件在1-3THz 波段都变得相对低效，室温高效固态太赫兹光源技术 和高速高灵敏度探测器技术是发展太赫兹科学技术的重要内容。光子学和电子学原理在太赫兹波段呈现 出相互融合发展的趋势，不断产生出各种新型高速高频器件。
【机 构】
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中国科学纳米器件与应用重点实验室,中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏省苏州市工业园区若水陆 398 号,苏州 215123
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随着半导体材料与工艺技术的发展，固体电子器件的运行速度正向亚毫米波和太赫兹频段发展。但是，常规的电子学器件和光子学器件在1-3THz 波段都变得相对低效，室温高效固态太赫兹光源技术 和高速高灵敏度探测器技术是发展太赫兹科学技术的重要内容。光子学和电子学原理在太赫兹波段呈现 出相互融合发展的趋势，不断产生出各种新型高速高频器件。
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