【摘 要】
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在大气压条件下放电产生非平衡等离子体为各种等离子体工艺带来许多好处。首先是去掉了在高真空设备上的投资，再一个就是为工件的操作带来了便利，提高了工作效率，不必为抽真空和
【机 构】
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中国科学院物理研究所北京603信箱100190
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在大气压条件下放电产生非平衡等离子体为各种等离子体工艺带来许多好处。首先是去掉了在高真空设备上的投资，再一个就是为工件的操作带来了便利，提高了工作效率，不必为抽真空和从真空恢复到大气压再耗费过多的时间。大气压下放电产生非平衡等离子体的方法有很多，数十年来有许多文献发表，提出各自的方法，并在相应的各种应用场合中获得了很好的结果。在这些已发表的文章中，我们注意到有关DBD等离子体射流的一些有趣的现象。
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