【摘 要】
：
混频器是毫米波器件传输信号的基本元件,本文介绍了一种以MEMS技术为基础的新型的混频器微带线加工工艺.与传统加工工艺相比MEMS器件具有体积小、功耗低、重量轻、成本低等优
【出 处】
：
2010微制造技术及数字化工艺学术研讨会
论文部分内容阅读
混频器是毫米波器件传输信号的基本元件,本文介绍了一种以MEMS技术为基础的新型的混频器微带线加工工艺.与传统加工工艺相比MEMS器件具有体积小、功耗低、重量轻、成本低等优点,并与传统的IC技术相兼容,这些特点满足了目前毫米波器件应用中微型化,集成化,规模化的要求.本文涉及的基本工艺包括溅射、光刻、电镀、刻蚀、释放等.另外,本文还对多层结构之间的结合力,正负胶叠层技术,牺牲层技术,多层释放技术等问题进行了较为深刻的研究,并最终确定了合适的工艺参数.
其他文献
本文主要研究使用冷冲压生产加工方法、探讨板料厚度小于0.2mm,直径尺寸在φ1.5mm左右的微小金属管壳的拉深成形工艺制定及其成形模具结构的设计.
茄子喜温耐热，是人们夏季食用的主要蔬菜之一。但入秋以后则逐渐罢园脱销。笔者在多年栽培秋冬辣椒的基础上，采用双顶棚覆盖措施对茄子进行了秋冬栽培试验，１９９７年试栽８０ｍ２，共１２０株；１９９８年种植９个大
在各种提供有线连接既不可行又不经济的情况下,Nokia公司的无线本地环路方案对那些希望用无线蜂窝技术来提供固定型电信业务的人来说是一种经济的选择.WLL(无线本地环路)方案
安徽省结核病控制“项目”县实施２年效果观察安徽省结核病防治研究所（２３００２２）王纪祥李励徐晓敏我省泗县、明光等１９个县（市）自１９９３年１２月至１９９５年１２月先后参加了《卫生部加强与促进结核病控制》项目县工
在龙眼树种福眼的生长期喷施灭菌肥３ 次，增产率达３０．１４％ ，投入产出比１∶３３．３８，果品质量提高。
In the longan species blessed eye growth period spray sterilized fertilizer 3 times, the
武定县位于云南省楚雄彝族自治州东部，东邻禄劝县，南与禄丰、富民毗邻，西与元谋接壤，北与四川会理县隔金沙江相望，距云南省省会昆明约100千米。武定的彝人是支祖祖辈辈生活在这片土地上的土著民族，在千百年耕种这片土地的历史岁月中，他们谱写着自己辉煌灿烂的历史篇章，传承着千年的习俗文化风采，这缤纷多彩的婚俗就是其中最亮丽的一幅风情画。 为了感受武定彝人的婚礼文化，在一个阳光灿烂的午后，我再一次回到了坐落
在中国当代美术教育中,如何将民族传统的优秀菁华和现代世界的先进文化有效地结合,一直成为我们美术教育工作者探研的重要课题。
In contemporary Chinese art education, h
1994年7月18～23日邮电部电信总局对会议电视系统国家骨干网络进行了全网测试,对所安装的美国视讯公司(CLI)的RAMBRANDT Ⅱ系统视频、音频质量及网络传输效果进行了全面的鉴定
线切割加工质量是指通过线切割加工后,零件获得的加工精度和表面质量.其中加工精度和表面粗糙度Ra是主要的加工质量评价指标.通过从设备、材料、电极丝参数、切割方法等方面,
巴林银行为什么迅速倒闭？有着２３３年历史的英国巴林银行，在一场投机买卖失败后，迅速地垮台了。原因何在呢？巴林银行派驻新加坡的交易商尼克·利森，他以银行的名义２月间大量买进日本的日