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数控系统的故障信息具有很大的模糊性，传统故障模式影响与危害性分析方法是根据故障的发生度、严重度以及检测度的分数值连乘而得到风险顺序数(RPN)，分析结果模糊性较大。本文提出应用模糊综合评判方法进行危害性分析，即可综合影响因素的模糊集，又可考虑到影响因素对分析结果的贡献，还可进行多影响因素分析。以数控系统的进给驱动单元为例，证明其分析方法简便、准确，在数控系统可靠性研究中，有较高的应用价值。