A two-dimensional fluid simulation has been conducted to investigate coil geometry depend of planar-type inductively coupled plasma discharge for a better performance of a RF ion source.Two dimension
引言流动控制在航空领域有很大的作用,可以减少飞行器飞行阻力,减少噪音,提高升阻比,使飞行器更加快速平稳高效地运行.沿面介质阻挡放电(Surface DielectricBarrier Discharge,SDBD)等离子体流动控制技术相对于以往的机械结构来说有很多优点:没有机械活动部件,结构简单,重量轻,能耗低,反应快速等,已经成为近十几年来的热门研究领域之一.
本文设计了一种常压射频介质阻挡等离子体喷枪,喷枪产生的长条状大面积等离子体从喷枪下方直接喷射到待清洗的硅片表面,与光刻胶发生反应。本文研究了喷枪的放电特性及喷枪去胶速率的影响因素。实验测量了喷枪在氩气4 L/min,氧气20mL/min,电源功率230 W时的电流电压波形,结果表明,电流波形超前电压波形,呈现出典型的容阻性；在电流波形的每个半周期内只出现了一个较大的电流峰值,该喷枪放电属于射频辉光
A special designed brush-shape plasma device has been reported to generate large area and uniform cold plasma at atmospheric pressure for biomedical applications.This homogeneous brush-shape plasma ca
Vacuum arcs are widely applied as plasma sources for ion guns, accelerators, and plasma processing devices.One important feature of the vacuum arc plasma is that not only metal ions but also nonmetal
为了获得性能优良的球形氧化铝粉末并使之在高端产品中获得应用。本文采用射频耦合Ar-O2热等离子体作为高温热源对氧化铝粉末进行球化处理实验研究。实验结果表明，当送粉量为35 g/min时，球化后的氧化铝粉末表面极光滑，而且颗粒与颗粒之间没有粘连，分散性好，球化率几乎达到了100％。
染料敏化太阳能电池(DSSC)是第三代太阳能电池之一，由于其简单的制作过程、原材料成本较低以及环境友好性等优点目前被广泛研究。迄今为止，二氧化钛基的液态染料敏化太阳能电池获得了DSSC的最高效率。然而，二氧化钛自身存在很多缺点制约了其效率进一步发展，如较低的电子迁移率。
低温常压等离子体产生的丰富的化学活性颗粒(活性氧和氮颗粒)在生物医学应用(如：伤口的消毒和愈合)上有着很高的需求，尤其是活性氧颗粒(如：O(3P)、O(5P)、OH*、O2-、1O2、O、O3和H2O2)有着很强的杀菌能力.本文采用了一种针-环DBD结构的Ar/H2O等离子体放射流作用于生理盐水中生成H2O2.
Large non-spherical dust grains with different shapes have been observed in an rf discharge plasma system.The mechanism of the formation of non-spherical grains is discussed.Polarization plays an impo
Radioactive spent ion exchange resins (RSIR) are process wastes generated by nuclear power plants in operation.It is of great significance that RSIR are treated safely and effectively for the developm