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本文采用溶胶-凝胶方法制备不同组分的Al2O3/PI复合薄膜,测试0、5、10和20％四种组分纳米Al2O3的PI复合薄膜击穿特性,采用扫描电镜观察薄膜击穿孔区形貌,利用积分法计算不同组分纳米掺杂样品击穿孔区的有效面积。结果表明：掺杂5wt％含量的Al2O3的PI复合薄膜击穿场强达到最大,Al2O3组分与击穿孔有效面积关系为：S5wt％
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