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通过对工业纯铁、碳素钢、合金钢和合金铸铁等材料在含氧气氛中进行离子渗氮和离子碳氮共渗，研究了气氛中氧含量对化合物层相组成和层厚的影响规律，探讨了加氧对化合物层生长动力学的影响。结果表明：适量的氧可增大化合物层的ε相含量，提高化合物层的生长速度，但氧含量过高以致在试样表面形成连续致密的氧化物则阻碍化合物层的生长。据此讨论了氧在离子渗氮和离子氮碳共渗中的作用及其本质，提出了加氧条件下的表面反应模型。（本刊录）